Pvd ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠΎ ΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅
ΠΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ PVD, IPG, DLC ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅?
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ PVD, IPG, DLC ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅?
ΠΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°
ΠΠ΅Π·ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π½ΠΎ, Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠΎΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΡ β Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½Π°Ρ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ. ΠΠΎ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΡ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π·Π΅Π½ΡΠ°Π±Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΈΠΊ. ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠΎΠΈΠ½ΡΡΠ² Π΅ΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΡΡ β ΡΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ. ΠΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ, ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠ»ΠΎΠ΅Π², Π½Π°ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠΆΠ΅Π½ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡΠΌ ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°Ρ ΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ.
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΡ
Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ: ΠΎΠ±ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°, Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ PVD, IPG, DLC. ΠΠ»Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ·ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈ ΠΆΠ΅Π»ΡΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ. ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ»ΡΠ³Ρ, Π½ΠΎ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΠΎΠ². ΠΠ΅Π»ΡΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°, Π΄Π΅ΡΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ ΠΏΡΡΠ½Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ°. ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΊΠ° Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π»ΡΠ±ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π», ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠΎΠ·ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΎΠΊ.
ΠΠ±ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ Π½Π° Π½Π°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ. ΠΠ½ Π³Π°ΡΠ°Π½ΡΠΈΡΡΠ΅Ρ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° Π½Π΅ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΡΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ. ΠΡΠ°Π²Π΄Π°, Π΄Π°Π½Π½ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΠΏΠΎΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠΎ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 4 ΠΌΠΊ, Π° ΡΡΠΎΠΊ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ Π΄Π²ΡΡ
Π»Π΅Ρ. ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠΎΠ΄Π»ΠΈΡΡ ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ Π»ΡΠ±ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°ΡΠ°, ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΠΌ Π½Π΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠ°ΡΡ Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ Ρ ΠΎΠ΄Π΅ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈ.
ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΡ, Π½Π°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ. ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΠ·Π°. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²: Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°, ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΠΈΠ½Ρ. ΠΡΡ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π΅Π΄Π°Π²Π½ΠΎ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ Π½Π°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ ΡΠ°ΡΠ΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ , Π½ΠΎ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΡΡΠΎΡ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½Ρ ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π½Π° Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π½, ΡΡΡΡΠΏΠ°Ρ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠ°ΠΌ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΡ.
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅?
PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ°. ΠΡΠ΅ ΡΡΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π·Π°Π½ΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ» ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΠΎΠ². ΠΠ°ΠΊ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ, Π΄Π²Π° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠΊΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΡΡΡ, Π° Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΏΠ΅Π²Π°ΡΡ Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ. PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Ρ Π΅Ρ ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠΉ ΠΊ ΡΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½. ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π² ΠΏΡΡΡ ΠΌΠΊΠΌ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠ΅Π³Π°Π΅Ρ Π½Π°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ ΠΎΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°, ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ, PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΡΠ°Π³ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΏΡΠ°Π²Ρ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΡ. ΠΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ Ρ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ»ΡΠΆΠΈΡΡ Π²Π΅ΡΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠ°Π²Π΄ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ ΠΏΡΡΠ½Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΈ Π»Π΅Ρ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ, Π΄Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΌΡΠΌ ΠΏΠΎΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ β ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ.
PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΡΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²:
β’ ΠΠ»Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ Π½ΡΠΆΠ½Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΡ, Π° ΡΡΠΎ, Π² ΡΠ²ΠΎΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ
β’ PDV ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π°Π½ΡΠΈΠ°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»-ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ ΠΎΡ ΠΊΠΎΡΡΠ·ΠΈΠΈ
β’ PDV ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΈΡΡΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, Π° ΡΡΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ Π½Π° ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Ρ Π½Π΅ ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π΅Π³Π°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ.
Π‘ΠΏΡΠΎΠ³Π½ΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ, Π½Π°ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠΌ ΠΎΠΊΠ°ΠΆΠ΅ΡΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ², Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎ. Π‘ΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ, 1 ΠΌΠΊ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΈΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΌ Π½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π·Π° 18 ΠΌΠ΅ΡΡΡΠ΅Π². ΠΠ° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠ΅ Π²ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΠΎΠΈΡ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠ½Π°ΡΠ΅, ΠΏΠΎΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠΎ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ Ρ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ Π²Π»Π°Π΄Π΅Π»ΡΡΠ΅Π² ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ°ΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ, ΠΊΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π»Π°Π΄Π΅Π»Π΅Ρ, ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΡΠΊΠ°Π½ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π³Π°ΡΠ΄Π΅ΡΠΎΠ±Π°.
PDV ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΡΡΡΡ. ΠΠ΅Π»ΠΎ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° Π±ΡΠ» Π½Π΅ ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΠΎ Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ-ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈ Π½Π°ΡΡΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ. ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠΎΠΌΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΌ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°, Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π΅ΡΠ»ΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Π½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅ΡΡΡ, Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ Π½Π°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΎΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΠΎΡΡΡΠ°Π΄Π°Π΅Ρ.
IPG ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π°ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ²
ΠΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΏΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΊ ΠΈΡΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ, Π½Π΅ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π°Π»Π»Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΡΠΊΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΡ ΠΈ Π±ΡΠ°ΡΠ»Π΅ΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠ»Π΅ΠΏΠ½ΡΠΌΠΈ.
Π£ΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ IPG-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ. Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡ. Π‘ΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ, Π½Π°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ Ρ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΄Π°ΡΠ°Ρ , ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ»ΠΈ Π½Π° ΡΠ΅Π±Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π΅Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π²ΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΌΠ΅ΡΠ°. Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΡ Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π±Π°Π²ΠΈΡΡΡΡ, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ ΡΠΌΠ°Ρ Π½ΡΡΡ, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ, Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ΅ Π½Π΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π»ΠΎ. Π‘Π²ΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ IPG-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π»ΠΎ Π½Π° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ Π·Π°ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎ ΡΠ΅Π±Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ Π»ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ.
PVD ΠΈ CVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ
ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈ ΡΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ. ΠΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π³ΠΎΡΠΎΠ²Ρ Π²ΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½Ρ Ρ.Π΅ Π½Π° ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ PVD ΠΈ CVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ.
Π‘ 70-Ρ Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠ΅ΠΉ Π΄Π΅Π½Ρ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ PVD ΠΈ CVD ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ TiN, TiCN, TiAlN ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ .
CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ (chemical vapour deposition, Π² ΠΏΠ΅Ρ. Ρ Π°Π½Π³Π». «Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ»). ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ (ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄, Π°Π·ΠΎΡ, ΡΠ³Π»Π΅Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Ρ). ΠΡΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ Π½Π΅ Π²ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π² Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ. Π Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠ° Π³Π°Π·Π° ΠΈ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΎΡΠ½ΡΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 1100Β°Π‘. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. ΠΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ CVD, ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Ρ ΡΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Π΅Π΅ ΠΎΡ ΡΡΠΏΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠ»Ρ ΡΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΈΡ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ HT-CVD ΠΈ MT-CVD ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ. ΠΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠ΅ΡΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΠΎΡ ΡΡΠΏΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², Π½ΠΎ Π±ΡΡΡΡΠΎΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΠΉ ΠΈ ΡΡΠ°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎ-ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ½Π΅ΠΌΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ Π±ΡΠ»ΠΎ Π½Π΅Π»ΡΠ·Ρ.
Π‘Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ» P-CVD ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± (ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅). ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π΄ΠΎ 500Β°Π‘ ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Π»ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ PVD ΠΈ CVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡΠΌΠΈ.
ΠΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ Π² 70-Π΅ Π³ΠΎΠ΄Ρ Π² Π‘Π‘Π‘Π , Π½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² Π΅Π²ΡΠΎΠΏΠ΅. CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π² ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ, Π½ΠΎ Π·Π° ΡΡΠ±Π΅ΠΆΠΎΠΌ.
PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠ°ΡΠ°Ρ ΠΈ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ
Π§Π°ΡΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Ρ ΠΈΠ· ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ°Ρ ΡΡΠ°Π»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠ°Π½, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅. ΠΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π΅ Π·Π°ΡΠΈΡΠ΅Π½Ρ ΠΎΡ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½ ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ, Π½Π°ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π±Ρ Ρ ΠΎΡΠ΅Π»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π»Ρ. Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠΈΡΡ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°ΡΠ° ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ, Π±ΡΠ΅Π½Π΄Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡ PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. Π Π°ΡΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΡΡΠ½ΠΈΡΡ, Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½Π° Π½ΡΠΆΠ½Π°.
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅
ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ ΠΠΠ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ
PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Physical vapor deposition. Π ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π°Π±Π±ΡΠ΅Π²ΠΈΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ Β«Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ (Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ) ΡΠ°Π·ΡΒ» ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΡΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π²ΡΠ³ΠΎΠ΄Π½Π° Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Ρ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ Π°ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΈ Π°Π²ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ. ΠΠ½Π° ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, ΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π³ΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΠΈΠ΄ΠΎΠ². ΠΠ°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π½ΠΈΡ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΠ²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΠΎΠ².
ΠΠΠ-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Β«ΠΏΡΠΈΠ»ΠΈΠΏΠ°Π΅ΡΒ» ΠΊ Ρ ΡΠΎΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ. ΠΠ½ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π»Ρ ΠΈ ΡΠΈΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π±Π΅Π·Π²ΡΠ΅Π΄Π½ΡΠΌ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ Π»ΡΠ±ΡΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ.
ΠΠΎ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΠΌ Π²ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΎ Π² ΠΊΠ½ΠΈΠ³Π΅ Β«Vapor DepositionΒ» 1966 Π³ΠΎΠ΄Π°. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½Ρ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ ΡΠ°Π½ΡΡΠ΅. ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ ΠΠΠ ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π° Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ, ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, ΠΌΠ°Π³Π½Π΅ΡΠΈΠ·ΠΌΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΈ. ΠΠΈΡΡ ΠΊ 1990-ΠΌ Π³ΠΎΠ΄Π°ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ².
ΠΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ
ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ΅, ΠΎΡ 0,25 Π΄ΠΎ 5 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΡΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ. Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠ° ΠΊ ΡΠ°ΠΏΡΠΈΡΡ. PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ°ΡΠΎΡΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΡΠ°ΡΠΎΠ². ΠΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΡΡΠΎΡ ΡΠΎΠ½ΡΠ°ΠΉΡΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°Ρ ΠΎΡ ΡΠΆΠ°Π²ΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ Π΅ΠΌΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅Π³Π°Π½ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄. ΠΠ°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Π±ΡΠ΅Π½Π΄Ρ, ΠΊΠ°ΠΊ Casio, Rolex, Victorinox (ΠΏΡΠΎΠΌΠΎΠΊΠΎΠ΄ Π½Π° ΡΠΊΠΈΠ΄ΠΊΡ 10% β STONE), Tag Heuer, Piaget Altiplano, Shinola, Omega ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅.
ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ: ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠΈΡΠ°Π½, Ρ ΡΠΎΠΌ, ΡΠΈΡΠ°Π½-Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΠΈ Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΠΉ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ°. ΠΡΠΎ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ Π»Π°ΡΡΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ½Π°, ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ, ΡΠ΅ΡΡΠΉ, Ρ ΡΠΎΠΌ, ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΠΈ Π±ΡΠΎΠ½Π·Π°, ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΈΠ΅, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΡ.
Π‘Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ DLC (Diamond like Carbon). ΠΠ½ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΠΠ. Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΡΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ, Π½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ°, ΡΡΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π΅Π³ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² Π΄ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ Π±ΡΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°Π½ΡΠΎΠ². Π ΡΠ»ΠΎΠ²Ρ, ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΎ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ Π² ΡΠ°ΡΠ°Ρ Apple Watch 4 Space Black, Π² ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ Gold ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΠΠ-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅.
PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΌ
ΠΡΡΠΈΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π΅ΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°ΡΡ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°. Π ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΠ½ΠΎ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΠΌΡΠ³ΠΊΠΎΠ΅ ΠΈ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π΅ΠΆΠ΅Π΄Π½Π΅Π²Π½ΠΎΠΌ Π½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ ΠΆΠ΅, Π΄ΡΠ°Π³ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠΉ. ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ Π±ΡΠ΄ΠΆΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½Ρ β ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. ΠΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ Π²ΠΈΠ΄ Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° Π·Π° ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ. ΠΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½Ρ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ.
Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ΅Π½Π΅, Π½ΠΎ Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΌΠΈ ΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΠΠ-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. Π¦ΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄Π΅ΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π² Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΌ. Π’ΠΎ ΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°.
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ Π² ΡΠ°ΡΠ°Ρ , Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π½Π΅ ΠΎΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΎΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΠ½ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΌ β ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π°Ρ , ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡ 0,15 Π΄ΠΎ 0,30 ΠΌΠΊΠΌ. Π₯ΠΎΡΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ 50 Π»Π΅Ρ Π½Π°Π·Π°Π΄, ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅ ΡΠ°Π²Π½ΠΎ ΠΈΠ·Π½Π°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ. Π§Π΅ΠΌ ΡΠ°ΡΠ΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡ, ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠ°ΡΡ ΠΈΡ , ΡΠ΅ΠΌ Π±ΡΡΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π½Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΈ, Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΠ², ΡΡΠ°Π»Ρ Π½Π°ΡΠ½Π΅Ρ Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Ρ Π½Π΅Π³ΠΎ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°ΡΡ Π½Π΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π²Π½ΡΠ΅.
ΠΠΎΠ΄Π²ΠΎΠ΄Ρ ΠΈΡΠΎΠ³ΠΈ, Ρ ΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΠΠ-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ β Π²Π΅ΡΡ Π½ΡΠΆΠ½Π°Ρ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Π°Ρ. ΠΠ½ΠΎ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΡ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΉ, ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Π»ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΈ Π±Π»Π΅ΡΠΊ. Π ΡΠΎΠΌΡ ΠΆΠ΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΡΡΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΎΠΊ, ΡΠΎ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½Ρ.
ΠΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° PVD ΠΈ CVD
ΠΠ° ΠΏΡΠΎΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΡ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΡΠΎΡΠ»Π° Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ, Π° ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π±Π΅ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ.
ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΡΡΠΎ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, Π²ΡΡΠ°Π»Π° Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½ΠΎΠ²ΡΡ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΆΠ°ΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².
ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΏΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π· ΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ» (ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°) ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π½Π° ΡΠΆΠ΅ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΡΠ»Π°, ΡΡΠ΅Π·Ρ ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ
Π Π½Π°ΡΠΈ Π΄Π½ΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½, Π·ΡΠ±ΠΎΡΠ΅Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΡΡ ΡΠ²ΡΡΠ» ΠΈ ΡΡΠ΅Π· ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. ΠΠ½ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΊΠ°ΠΊ:
Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π·Ρ β ΡΡΠΎ Π½Π΅ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠΎΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Ρ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π²ΡΠ³ΠΎΠ΄Ρ:
ΠΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎ-ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π°ΡΠ»ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ CVD
Π‘ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π»ΠΈ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΡΡΠΌ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° (TiC). ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠΏΠ»Π°Π² Π΄Π°Π²Π°Π» ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅ΠΌΡΠΉ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ, Π½ΠΎ ΡΠ΅Π½ΠΎΠΉ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. Π ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-ΡΠΎ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ TiC Π² ΡΠΏΠ»Π°Π²Π΅ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ»Π°ΡΡ Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ, ΡΡΠΎ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΡΡ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠΌ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠΌ.
Π 1970 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π±ΡΠ»Π° ΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΡΡΡΠΌ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ TiC Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ, Π½Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅ΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. ΠΠ°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΠΎΠΉ ΠΈΠ΄Π΅ΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° (TiN) ΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ (Al2O3).
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ:
Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠΉ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° (Π΄ΠΎ 1200 Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ² Π¦Π΅Π»ΡΡΠΈΡ). ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π°Π³ΡΠ΅Π³Π°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π²ΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ (Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ). ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ β Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π³ΡΠ΅Π³Π°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ (Π‘VD β Chemical Vapor Deposition).
ΠΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ CVD
ΠΠ΅ ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°:
ΠΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ CVD
Π Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ°ΠΌ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ:
ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ PVD
ΠΡΡΠ³Π°Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ β ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (PVD β Physical Vapor Deposition).
ΠΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΡΠΌΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ PVD ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π΅ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ Π² Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°Π·Ρ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π° ΡΡΡΡ ΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΡΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ, Π½Π°Π³ΡΠ΅ΡΠΎΠΌΡ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ 500 Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ² Π¦Π΅Π»ΡΡΠΈΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ» ΡΡΠ°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅.
ΠΠ° ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½ΡΡΠ½Π΅ΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ, ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°ΡΠ»ΠΈ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ PVD ΠΈ ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°
ΠΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ PVD
ΠΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ PVD
CVD ΠΈΠ»ΠΈ PVD
Π ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ CVD ΠΈ PVD ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ.
CVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ PVD. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ»ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΡΡΠ³ΡΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ.
Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ (ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 2-5 ΠΌΠΊΠΌ) Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠΈΡ , ΠΆΠ°ΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΡ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².
ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΡ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ:
PVD-Coating
ΠΠ±Π±ΡΠ΅Π²ΠΈΠ°ΡΡΡΠ° PVD ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ Physical Vapor Deposition (ΠΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ). ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ (400-600Β°C). ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Ρ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΠ΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅.
PVD ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ β ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅ ΠΏΡΡΡΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π½Π° Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»Π°ΠΌΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠΎΠ±ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° PVD-ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΡΠ°Π½ ΠΈ ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΠΉ. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ PVD ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ Π΄Π»Ρ Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ Π»Π°ΡΡΠ½ΠΈ.
ΠΠ°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΈΠ· ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠ½Π°ΡΠ°Π»Π° ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ PVD-ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ°. ΠΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅ ΠΆΠ΅ ΠΈΠ· Π»Π°ΡΡΠ½ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ, ΠΏΠΎΡΠΎΠΌ Ρ ΡΠΎΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. ΠΠ»Π°Π²Π½Π°Ρ ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ PVD-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ, Π½Π΅ Π½Π°ΡΡΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈ Π±ΠΈΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Π²ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ»Π΅Π³Π°Π΅Ρ ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅, Π½Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠΌ ΠΊ ΠΈΡΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½.
PVD-ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²Π° ΠΊ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½Π°ΠΌ, ΡΠ΄Π°ΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡΠΌ. Π‘Π»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΡΡΠΆΡΠ»ΡΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π΅Π³ΠΎ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ, Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ, ΠΎΡΡΠ°Π½ΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ PVD:
Π‘ΠΏΠ»Π°Π²Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ PVD ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡ , Π½ΠΎ ΠΎΡΡΡΡΡ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΎΠΊ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π°ΡΠΎΡΡΠ°. Π‘ΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ: Π²ΡΠ΅ ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π·Ρ ΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ»Π°, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΎΠΊ, ΡΠ΅Π·ΡΠ±Ρ ΠΈ ΡΡΠ΅Π·Π΅ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. Π‘ΠΏΠ»Π°Π²Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ PVD ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΈ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ».
Π ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΎΠ³Π΅ Π½Π°ΠΉΠ΄Π΅Π½ΠΎ 76 ΡΠΎΠ²Π°ΡΠΎΠ² Ρ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΎΠΉ.